نبذة عن الجهاز
جهاز UV-KUB 2 من KLOE هو نظام مدمج مكتبي يعمل بتقنية الأشعة فوق البنفسجية LED ومخصص لعمليات الطباعة الضوئية (Photolithography). يقوم الجهاز بنقل الأنماط والتصاميم الدقيقة من القناع الضوئي (Photomask) إلى المواد الكيميائية الحساسة للضوء (Photoresists)، مما يتيح تصنيع هياكل دقيقة على المستوى المجهري. يُستخدم الجهاز من قبل الباحثين لتصنيع (Microfluidic Chips)، والدوائر البصرية، والهياكل السطحية الدقيقة، دون الحاجة إلى بيئة غرف نظيفة (Cleanroom)، مما يجعله مناسبًا للأبحاث والتطوير والتطبيقات التعليمية.
المواصفات الفنية
- مصدر الضوء (Light Source): مصدر إضاءة من نوع UV-LED.
- الطول الموجي (Wavelength): 365 نانومتر ± 5 نانومتر، وهو مناسب لمجموعة واسعة من مواد المقاومة الضوئية.
- الدقة (Resolution): أقل من 2 ميكرومتر، مما يسمح بإنشاء أنماط دقيقة وعالية التفاصيل.
- كثافة القدرة الضوئية (Power Density): 35 ميلي واط/سم² ± 10%.
- زاوية التجميع الضوئي (Collimation Angle): أقل من 2°، مما يضمن حوافًا مستقيمة ورأسية للهياكل المطبوعة.
- ارتفاع درجة حرارة الركيزة أثناء التعريض (Substrate Heat-up): أقل من 1س° أثناء عملية التعريض، بفضل استخدام مصدر ضوء بارد يقلل التأثير الحراري على العينات.
- حجم الركائز (Substrate Size): يدعم ركائز بأحجام 4 بوصات أو 6 بوصات.
- زمن التعريض (Exposure Time): من 1 ثانية إلى ساعة واحدة حسب متطلبات العملية.
- الدورات القابلة للبرمجة (Programmable Cycles): إمكانية برمجة ما يصل إلى 10 دورات تشغيل.
- توافق مواد المقاومة الضوئية (Photoresist Compatibility): متوافق مع معظم العلامات التجارية الرئيسية مثل AZ وShipley وSU-8.
التطبيقات
- أنظمة (Microfluidics): يُستخدم لإنشاء القنوات المجهرية اللازمة لنقل واختبار كميات صغيرة جدًا من السوائل، وهي تطبيقات مهمة في الاختبارات الطبية والأبحاث البيولوجية.
- البصريات (Optics): تصنيع الموجهات الضوئية (Optical Waveguides) والدوائر البصرية المتكاملة التي تعمل على توجيه الضوء بدلًا من الإشارات الكهربائية، مثل التطبيقات المستخدمة في المستشعرات المتقدمة ونقل البيانات عالي السرعة.
- تشكيل الأسطح الدقيقة (Surface Microstructuring): تعديل أسطح المواد على المستوى المجهري للتحكم في تفاعلها مع الخلايا أو السوائل وتحسين خصائصها الوظيفية.
