AMOD

نبذة عن الجهاز

يُعد نظام AMOD للترسيب الفيزيائي للبخار (Physical Vapor Deposition - PVD)، والمصنّع من قبل شركة Ångstrom Engineering، منصة متقدمة وعالية المرونة لترسيب الأغشية الرقيقة، صُممت خصيصًا للأبحاث العلمية وتطوير النماذج الأولية. يعتمد النظام على تقنيات التفريغ العالي (High Vacuum) لترسيب طبقات رقيقة بسماكات نانومترية من المعادن، وأشباه الموصلات، والمواد العازلة على مختلف أنواع الركائز.

القياسات والقدرات التحليلية

يمكن تهيئة منصة AMOD لدعم عدة تقنيات ترسيب في الوقت نفسه، بما في ذلك:

الترسيب بالتبخير باستخدام حزمة الإلكترونات (Electron Beam Evaporation):

يوفر معدلات ترسيب عالية باستخدام مصدر متعدد الجيوب (Multi-Pocket E-Beam Hearth)، مزود بوحدة تحكم قابلة للبرمجة لضبط حركة الحزمة الإلكترونية بدقة.

الترسيب بالتبخير الحراري المقاومي (Resistive Thermal Evaporation):

يعتمد على مجموعة متنوعة من القوارب (Boats)، والخيوط (Filaments)، والبوتقات (Crucibles)، مع إمكانية تشغيل عدة مصادر تبخير حراري وإلكتروني في الوقت نفسه.

الترسيب بالرش المهبطي (Sputtering):

يدعم تقنيات الرش المهبطي باستخدام التيار المستمر (DC)، والترددات الراديوية (RF)، والتيار المستمر النبضي (Pulsed DC)، بالإضافة إلى الرش التفاعلي (Reactive Sputtering)، مع إمكانية استخدام كاثودات مغنطرونية دائرية أو خطية.

التطبيقات

• صناعة الإلكترونيات وأشباه الموصلات.

• تصنيع وتطوير المكونات البصرية.

• أبحاث المواد وعلوم المواد.

• تطبيقات وتقنيات الحوسبة الكمية.