Laurell WS-400BZ

نبذة عن الجهاز

يُعد Laurell WS-400BZ Spin Coater جهاز طلاء بالدوران عالي الدقة يُستخدم في المختبرات لتكوين أغشية رقيقة ومتجانسة من السوائل على مختلف أنواع الركائز، مثل الشرائح الزجاجية أو رقائق السيليكون. يعتمد الجهاز على تدوير الركيزة بسرعات عالية جدًا، مما يؤدي إلى توزيع السائل بالتساوي لتكوين طبقة رقيقة وموحدة السمك، وهي خطوة أساسية في العديد من تطبيقات تصنيع الإلكترونيات والأجهزة الدقيقة.

المواصفات

• نطاق سرعة الدوران: من 100 إلى 12,000 دورة/دقيقة (RPM)، وذلك حسب نوع المحرك المستخدم.

• أبعاد الركائز المدعومة: يدعم ركائز دائرية حتى 150 مم (6 بوصات)، أو ركائز مربعة حتى 102 × 102 مم (4 × 4 بوصات).

• التسارع: يصل إلى 30,000 دورة/دقيقة في الثانية عند استخدام محرك HPD2 المطور.

• ذاكرة وحدة التحكم: يمكنها تخزين ما يصل إلى 20 برنامجًا مخصصًا، يحتوي كل منها على 51 خطوة تشغيل.

• دقة ضبط الزمن: يمكن برمجة زمن كل خطوة بدءًا من 0.1 ثانية وحتى ما يقارب 100 دقيقة.

التطبيقات

• الطباعة الضوئية (Photolithography): ترسيب طبقات متجانسة من المواد الحساسة للضوء (Photoresists) على رقائق السيليكون أو الركائز الزجاجية قبل عمليات الحفر والنقش.

• أنظمة (Microfluidics): طلاء أجهزة المختبر على الرقاقة (Lab-on-a-Chip) بمواد كارهة للماء، مثل Teflon وFluoropel، لتسهيل حركة القطرات داخل القنوات الدقيقة.

• الإلكترونيات والمستشعرات: تحضير الأغشية الفعالة المستخدمة في تصنيع الثنائيات الباعثة للضوء (LEDs)، ومستشعرات الغازات، والترانزستورات، وغيرها من المكونات الإلكترونية.

• تحضير الركائز: يُستخدم في عمليات تنظيف الركائز، والحفر الكيميائي، وإظهار الأنماط، والشطف، بفضل وعاء مصنوع من البولي بروبيلين المقاوم للمواد الكيميائية، والقادر على تحمل الأحماض القوية مثل حمض الهيدروفلوريك (HF) والمذيبات العضوية.