نبذة عن الجهاز

يُعد Filmetrics Profilm3D جهاز قياس تضاريس الأسطح البصري (Optical Profilometer) يعمل دون تلامس مع العينة، ويعتمد على تقنيتي التداخل بالضوء الأبيض (White Light Interferometry - WLI) والتداخل بإزاحة الطور (Phase-Shifting Interferometry - PSI) لإنتاج خرائط ثلاثية الأبعاد عالية الدقة لسطح العينة. ويُستخدم على نطاق واسع في الأبحاث والتطوير والعمليات الصناعية لقياس خشونة الأسطح، والتموجات، وارتفاعات الخطوات بدقة عالية.

القياسات والقدرات التحليلية

• قياس الارتفاع (Z-Height / Step Height): يوفر دقة رأسية (Z-Resolution) تصل إلى أقل من نانومتر واحد، مع دقة قياس لارتفاع الخطوات تبلغ حوالي 0.7%، وقدرة فصل تصل إلى 0.1 نانومتر.

• قياس خشونة السطح (Ra, Rq وغيرها): يدعم قياسات خشونة الأسطح وفقًا للمعيار الدولي ISO 25178. ونظرًا لاعتماده على مسح مساحات كاملة بدلاً من خطوط منفردة، فإنه يوفر نتائج أكثر تمثيلًا ودقة إحصائية.

• قياس سماكة الأغشية الرقيقة: يقيس سماكة الأغشية ضمن نطاق يتراوح بين 50 نانومتر و10 مليمترات باستخدام تقنية التداخل بالضوء الأبيض (WLI).

• أنماط التصوير والقياس:

  • PSI: لقياس الأسطح فائقة النعومة بدقة عالية.

  • WLI: لقياس الأسطح ذات الارتفاعات والخطوات الكبيرة.

  • وضع قياس الخشونة المتقدم: يتيح قياس الأسطح ذات الانحدارات الحادة حتى 60°، مما يجعله مناسبًا لقياس العدسات والأسطح البصرية المعقدة.

التطبيقات

• أشباه الموصلات والإلكترونيات: قياس تضاريس الأسطح وسماكة الأغشية الرقيقة في الرقائق الإلكترونية والمكونات الدقيقة.

• الأجهزة الطبية والمواد الحيوية: توصيف الأسطح المستخدمة في الزرعات الطبية والمواد الحيوية لضمان جودة الأداء والتوافق الحيوي.

• التصنيع والتشغيل الدقيق: تقييم جودة الأسطح ومراقبة عمليات التشغيل والتصنيع عالية الدقة.

• البصريات: قياس تضاريس العدسات والمكونات البصرية والتحقق من جودة تشطيبها.

• صناعات السيارات والطيران: فحص الأسطح الدقيقة للمكونات الهندسية وتحسين جودة التصنيع والأداء.